SCARA Roboter - Hirata Engineering Europe GmbH

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Reinraum-Roboter - AR-W130CL - AR-W250VHCL

Eigenschaften:

Der schmale Standfuß stört die laminaren Luftströmungen im Reinraum nicht.
Optimale Bewegungseigenschaften ermöglichen einen höheren Durchsatz.
Der optionale Wafer-Wender ermöglicht die Bearbeitung der Wafer-Unterseite.
Der Roboterarm muss weder geölt noch geschmiert werden und spart dadurch Wartungskosten.

Systemintegration:

Unsere Reinraum-Module basieren auf unseren langen und eingehenden Erfahrungen in der Robotertechnologie und können einfach und sehr effizient in automatisierte Systeme integriert werden.

Jede Art von Anlagensteuerung, ob SPS oder PC, kann an unsere Robotersteuerung angeschlossen werden und auf einfache Weise mit unserer Steuerung kommunizieren. Sie müssen keine neue Programmiersprache lernen. Eine vereinfachte Positions- und Ablaufprogrammiermethode verkürzt die Integrationszeit des Roboters in Ihren Automationsprozess. Maximal zwölf Achsen können mit einer unserer Robotersteuerung kontrolliert werden.

Peripheriegeräte:

Außer den Reinraum-Robotern zur Wafer-Handhabung bieten wir auch FOUP-/Autodoor FOSB-Opener, Prealigner und SMIF-Pods-Opener als weitere Komponenten unseres Reinraum-Programms an. Diese Module können ebenfalls durch unsere Steuerung gesteuert werden.

KWF-12C
FOUP-/Autodoor FOSB-
Opener:

Zum sicheren und einfachen Öffnen von FOUPs und FOSBs

Wafergrößen: 8" und 12"

KWA-12
Prealigner:

Berührungsloser, sensorgesteuerter Prealigner

Sehr schnelle und hoch präzise Orientierung von Standard- und Notch-Wafern

Wafer-Größen: 6", 8", 12" und 8"/12" anwählbar

KWF-12
SMIF Pods Opener:

Kleine Bauform, Umsetzen der Kassetten durch einen Arm.

effektives Handling, hoher Durchsatz

Wafer-Größen: 8" und 12"

Modellbezeichnung:

AR	-	W200CL	-	4	-	S	R	-	300
		(1)		(2)		(3)	(4)		(5)

(1)	Modell
	200: AR-W200CL Modellreihe
(2)	Anzahl der Achsen (Freiheitsgrade)
(3)	Armtype
	S: Einfach-Arm
	T: Doppel-Arm
(4)	Drehachse (C-Achse)
	-: keine Wafer-Wendevorrichtung
	R: mit Wafer-Wendevorrichtung
	RR: mit zwei Wafer-Wendevorrichtungen
(5)	max. Arbeitshub der Z-Achse

Robotertyp		Atmospherischer Robotertyp
Modell		AR-W200 (150) CL-
Modell		3-S-300	4-SR-300	4-T-300	5-TR-300	6-TRR-300
Armtyp		Einzelarm	Doppelarm	Doppelarm	Doppelarm mit Wendeachse	Doppelarm mit Wendeachse
Arbeits- bereich	R1-Achse	590 (440) mm	590 (440) mm	590 (440) mm	590 (440) mm	590 (440) mm
	R2-Achse	-	-	590 (440) mm	590 (440) mm	590 (440) mm
	C-Achse	-	190° (360°)	-	190° (360°)	190° (360°)
	Θ-Achse	340°	340°	340°	340°	340°
	Z-Achse	300 mm			3250 mm
Achsen- geschwindig- keit	R1-Achse	1200 (900) mm/s	1200 (900) mm/s	1200 (900) mm/s	1200 (900) mm/s	1200 (900) mm/s
	R2-Achse	-	-	1200 (900) mm/s	1200 (900) mm/s	1200 (900) mm/s
	C-Achse	-	540°/s	-	540°/s	540°/s
	Θ-Achse	360°/s	360°/s	360°/s	360°/s	360°/s
	Z-Achse	500 mm/s	500 mm/s	500 mm/s	500 mm/s	500 mm/s
min. Pass-Linie		634 mm	681 mm	656 mm	717 mm	717 mm
kleinster Drehradius		245 (195) mm	275 mm	313 (263) mm	313 (263) mm	313 (263) mm
Wiederhol- genauig- keit	R1-Achse	± 0,05 mm	± 0,05 mm	± 0,05 mm	± 0,05 mm	± 0,05 mm
	R2-Achse	-	-	± 0,05 mm	± 0,05 mm	± 0,05 mm
	C-Achse	-	± 0,06°	-	± 0,06°	± 0,06°
	Θ-Achse	± 0,03°	± 0,03°	± 0,03°	± 0,03°	± 0,03°
	Z-Achse	± 0,05 mm	± 0,05 mm	± 0,05 mm	± 0,05 mm	± 0,05 mm
Reinraumklasse		Klasse 1 (0,1 µm/cf)
anwendbare Wafer-Größe		4 – 12 inch
Handhabungsgewicht		500 g
Gewicht		35 kg	37 kg	40 kg	43 kg	45 kg
Einbaufläche		250 mm x 250 mm

Robotertyp		Atmospherischer Robotertyp
Modell		AR-W180 (130) CL-
Modell		3-S-300	4-SR-300	4-T-300
Armtyp		Einzelarm	Einzelarm mit Wendeachse	Doppelarm
Arbeits- bereich	R1-Achse	530 (390) mm	530 (390) mm	530 (390) mm
	R2-Achse	-	-	530 (390) mm
	C-Achse	-	190° (360°)	-
	Θ-Achse	340°	340°	340°
	Z-Achse	300 mm
Achsen-geschwin-digkeit	R1-Achse	1080 (780) mm/s	1080 (780) mm/s	1080 (780) mm/s
	R2-Achse	-	-	1080 (780) mm/s
	C-Achse	-	540°/s	-
	Θ-Achse	360°/s	360°/s	360°/s
	Z-Achse	500 mm/s	500 mm/s	500 mm/s
min. Pass-Linie		634 mm	681 mm	656 mm
kleinster Drehradius		225 (178) mm	275 mm	293 (243) mm
Wiederhol-genauigkeit	R1-Achse	± 0,05 mm	± 0,05 mm	± 0,05 mm
	R2-Achse	-	-	± 0,05 mm
	C-Achse	-	± 0,06°	-
	Θ-Achse	± 0,03°	± 0,03°	± 0,03°
	Z-Achse	± 0,05 mm	± 0,05 mm	± 0,05 mm
Reinraumklasse		Klasse 1 (0,1 µm/cf)
anwendbare Wafer-Größe		4 – 12 inch
Handhabungsgewicht		500 g
Gewicht		35 kg	37 kg	40 kg
Einbaufläche		250 mm x 250 mm

Robotertyp		Atmospherischer Robotertyp (Leichtversion)		Vakuumrobotertyp
Modell		AR-WL180CL		AR-W170VHCL	AR-W250VHCL	AR-170VLCL	AR-W170VLCL	AR-W150VLCL
Modell		3-S-300	4-T- 300	4-T-40	3-S-20	4-T-40	3-S-40	3-S-350
Armtyp		Einzel-arm	Doppel-arm	Hoch-vakuum-Doppelarm	Hoch-vakuum Einzelarm	Niedrig-vakuum Doppelarm	Niedrig-vakuum Einzelarm	Niedrig-vakuum Einzelarm
Arbeits- bereich	R1-Achse	530 mm	580 mm	608 mm	730 mm	608 mm	500 mm	440 mm
	R2-Achse	-	580 mm	608 mm	-	608 mm	-	-
	Θ-Achse	340°	340°	330°	330°	330°	330°	330°
	Z-Achse	300 mm	300 mm	40 mm	20 mm	40 mm	40 mm	350 mm
Achsen-geschwind- igkeit	R1-Achse	1300 mm/s	1300 mm/s	1000 mm/s	800 mm/s	1000 mm/s	1000 mm/s	1000 mm/s
	R2-Achse	-	1300 mm/s	1000 mm/s	-	1000mm/s	-	-
	Θ-Achse	400°/s	400°/s	216°/s	200°/s	216°/s	216°/s	216°/s
	Z-Achse	500 mm/s	500 mm/s	100 mm/s	20 mm/s	100 mm/s	100 mm/s	250 mm/s
min. Pass-Linie		570 mm	655 mm	229 mm	113 mm	213 mm	80 mm	80 mm
kleinster Drehradius		215 mm	240 mm	345 mm	290 mm	345 mm	210 mm	190 mm
Wiederhol-genauigkeit	R1-Achse	± 0,05 mm	± 0,05 mm	± 0,05 mm	± 0,05 mm	± 0,05 mm	± 0,05 mm	± 0,05 mm
	R2-Achse	-	± 0,05 mm	± 0,05 mm	-	± 0,05 mm	-	-
	Θ-Achse	±0,03°	± 0,03°	± 0,03°	± 0,03°	± 0,03°	± 0,03°	± 0,03°
	Z-Achse	± 0,05 mm	± 0,05 mm	± 0,05 mm	± 0,05 mm	± 0,05 mm	± 0,05 mm	± 0,05 mm
Reinraumklasse		Klasse 1 (0,1 µm/cf)				Klasse 2
anwendbare Wafer-Größe		6 – 12 inch		2 – 12 inch
Handhabnungsgewicht		300 g		800 g
Gewicht		18 kg	25 kg	55 kg	35 kg	47 kg	40 kg	58 kg
Einbaufläche		250 mm x 250 mm		Ø 360 mm	Ø 235 mm	Ø 360 mm	Ø 360 mm	Ø 360 mm
Vakuumwiederstands-fähigkeit				10^-6 Pa	10^-6 Pa	10^-1 Pa	10^-1 Pa	10^-1Pa

Single Arm AR-W150CL-3-S-325

Twin Arm AR-W200CL-6-TRR-350

Am Sägewerk 7 D-55124 Mainz Telefon: +49 (0)6131 9413-0 Fax: +49 (0)6131 9413-13